橡膠氣囊急速再生的實施

①關閉高閥,將加熱N2或室溫N2氣由PurgeGas口導入泵腔,被稀釋的毒性氣體就會通過排氣閥放出。這時,冷板的溫度若達不到77K以上,泵室的壓力就上不去,氣體也就無法釋放出來,而又會被凝縮在冷頭上。用N2進行沖洗時,最好采用專用的放氣管道來排出N2氣。不得已要從安全閥釋放時,由于易產生真空泄露,所以,有必要對安全閥進行清洗。

②用加熱毯進行加熱。但要注意加熱時,溫度不能超過70℃。否則,會損壞橡膠氣囊。